PECVD peć

1.Tip: dvozonski PECVD sustav klizajućeg tipa od 1200 stupnjeva
2.Broj faze: Jednofazni
3. Tip termoelementa: K tip
4.Model:TOB-DSP-1200 stupanj -PECVD
5.MOQ: 1 set

Pošaljite upit

Čavrljaj sad

Uvod u proizvod

Dvozonski PECVD sustav tipa klizača od 1200 stupnjeva

Specifikacija

Model	TOB-DSP-1200 stupanj -PECVD-I	TOB-DSP-1200 stupanj -PECVD-II		TOB-DSP-1200 stupanj -PECVD-III	TOB-DSP-1200 stupanj -PECVD-IV
Vlast	3KW	3KW		4KW	4KW
Veličina cijevi peći (mm)	Promjer 60(OD) X1800 mm	Promjer 80(OD) X1800 mm		Promjer 100(OD) X1800 mm	Promjer 120(OD) X1800 mm
Dimenzija	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Napon napajanja	220V
Broj faze	Jednofazni
Način upravljanja	Yudian kontrola temperature 30 sekcija može koristiti samo PID regulaciju temperature. FP93 kontrola temperature (iz Japana) (Zamjena uvezenih instrumenata, uz nadoplatu) 1,40 sekcija program kontrole temperature može se podijeliti u 4,2,1 grupni program, ako je program podijeljen u četiri grupe, svaki segment programa 10, 2,6 grupna PID kontrola, niska, srednja i visoka temperatura može svaka sa skupom PID-a, tako da svaki segment može kontrolirati temperaturu vrlo precizno.
Način kontrole temperature	Inteligentni PID
Zaštita od izgaranja i zaslon	Da
Zaštita od previsoke temperature	Da
Prekostrujna zaštita	Da
Točnost kontrole	+/- 1 stupanj
Okidač	Okidač faznog pomaka
SCR	106 / 16E Njemačka Simon Kang
Maksimalna temperatura zone temperature 1.2	1200 stupnjeva
Temperaturna zona 1.2 Nazivna temperatura	1150 stupnjeva
Stopa zagrijavanja	Manje od ili jednako 30 stupnjeva/min (dostupno na zahtjev izmjene)
Preporučena brzina grijanja	Manje od ili jednako 15 stupnjeva/min
Vrsta termoelementa	K vrsta
Duljina grijanja temperaturne zone 1.2	205 mm
Temperatura okolne površine	Manje od ili jednako 45 stupnjeva
Plazma RF snaga	Raspon izlazne snage		0-500W
	Maksimalna reflektirana snaga		10W
	Frekvencija signala		13,56 MHZ ± 0,005%
	Buka		<30 dB
	Hlađenje zrakom		metoda hlađenja
	Ulazna snaga		208-240V 50 / 60 HZ
Glavni parametri opskrbnog sustava GX	Standardni raspon		Regulator protoka Proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (možete odabrati bilo koju ljestvicu)
	Točnost		± 1.5%
	Pad tlaka		<0.01MPa
	Ponovljivost		± 0.2% F.S
	Maks Radni tlak		3 MP
VS-0.1 ispušni sustav	napajanje		220V / 380V 380W
	Stopa pumpanja		2L / S
	Otporni vakuum mjerač		ZDR-I
	Raspon mjerenja vakuuma		0.1-10 5 Pa
	Vakuumska pumpa		VRD-8
	Valovita cijev		KF25X1000 mm
	Vakuumski sustav		10 -1Pa